Dispositivos MEMS

 

Os dispositivos micro-electro-mecânicos ou MEMS (Microelectromechanical systems) é uma nova tecnologia de dispositivos microscópicos, que tem pequenas partes mecânicas acionadas por movimentos. Alguns sensores são feitos destes dispositivos como por exemplo acelerômetro, girometro (velocidade angular – rate gyro) e magnetômetro.

Veja como funcionam os MEMS de acelerômetro, girometro e magnetômetro:

 
Girômetro de anel oscilatorio

Girômetro laser  (Sagnac Interferometer effect)